光重合開始剤に関する、改良及び新規素材の開発

背景

将来、露光装置の光源が高圧水銀灯から、LED(365~405nm光源メイン)に移行していくと見込まれており、その背景としては、高圧水銀灯を使用するよりも高輝度、低電力、省電力、長寿命、調光や点滅の制御のしやすさ、機器の小型化などがあげられます。また、フォトマスクなしでパターンを直接描画できる（データ・ダイレクト・イメージング・システム）が普及していくことから、当社では2008年より長波長タイプの光重合開始剤を研究し、2010年に上市致しました。但し、この製品は、溶剤への溶解度が不十分であることや露光後の現像性が劣ることから、溶解性及び現像性をあげることが必要となります。

 

成果

本研究では、現製品よりも溶解性が極めて優れた光重合開始剤の開発に成功いたしました。